従業員が「４階の自動扉から煙が出ている」と１１９番。消防によると、消火活動中に肌に刺激を感じて退避した隊員もおり、活動を一時中断した。消防隊員は発火点にたどり着けていないため危険物の有無は分かっていないが、旭化成によると、旭化成マイクロシステムは半導体集積回路（ＩＣ）の製造工場で、人体に有害な危険物は扱っていないという。
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周辺で悪臭が発生していると通報があったため、県警延岡署は付近の交通を規制した。延岡市は２１日、周辺住民のために市役所２階に避難所を開設した。
現場近くに住む男性（７４）は２１日、「早朝からゴムやビニールが焼けたような臭いが家の中まで入ってきた。早く収まってほしい」と煙が出続ける工場を心配そうに見つめた。